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内容简介：
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微***技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
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书籍介绍
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微***技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
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网站评分
书籍多样性：8分
书籍信息完全性：7分
网站更新速度：4分
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书籍清晰度：6分
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- 网友 冯***丽：
卡的不行啊
- 网友 宫***玉：
我说完了。
- 网友 权***颜：
下载地址、格式选择、下载方式都还挺多的
- 网友 国***舒：
中评，付点钱这里能找到就找到了，找不到别的地方也不一定能找到
- 网友 隗***杉：
挺好的，还好看！支持！快下载吧！
- 网友 沈***松：
挺好的，不错
- 网友 堵***洁：
好用，支持
- 网友 师***怡：
说的好不如用的好，真心很好。越来越完美
- 网友 訾***雰：
下载速度很快，我选择的是epub格式
- 网友 居***南：
请问，能在线转换格式吗？
- 网友 曾***文：
五星好评哦
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可以可以可以
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- 网友 宓***莉：
不仅速度快，而且内容无盗版痕迹。
- 网友 康***溪：
强烈推荐！！！
- 网友 常***翠：
哈哈哈哈哈哈
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书籍真实打分
故事情节：7分
人物塑造：3分
主题深度：5分
文字风格：6分
语言运用：5分
文笔流畅：9分
思想传递：5分
知识深度：5分
知识广度：8分
实用性：8分
章节划分：8分
结构布局：3分
新颖与独特：8分
情感共鸣：7分
引人入胜：7分
现实相关：9分
沉浸感：7分
事实准确性：6分
文化贡献：9分